2017年11月18日
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战略性先进电子材料重点专项“第三代半导体核心关键装备”项目启动会召开

2017年9月24日,南京大学电子科学与工程学院修向前教授承担的国家重点研发计划战略性电子材料重点专项“第三代半导体核心关键装备”项目启动会在青岛召开。此次会议是在科技部高技术中心指导下,由南京大学主办,山东大学和青岛铝镓光电半导体有限公司协办。科技部高技术中心专项办领导,南京大学校领导、总体组责任专家、项目咨询专家,项目负责人、课题负责人及科研骨干等40余人参加了会议。

会议开始,南京大学校长助理孙冶东首先代表项目牵头单位致欢迎辞,他对高技术中心和各位咨询专家对南京大学的支持表示感谢,并为项目咨询专家颁发了聘书。他介绍了2017年南京大学共获得国家重点研发计划项目11项,学校将认真履行项目牵头单位的法人责任,健全和完善内部管理制度,确保该项目的顺利进行和圆满完成。

随后,科技部高技术中心材料处史冬梅处长代表专项办做了重要讲话,她希望项目牵头单位南京大学认真履行项目牵头单位法人责任,加强对项目实施的组织管理和经费预算管理,落实项目保障条件,积极配合上级管理部门,做好项目实施和管理。

然后项目负责人修向前教授作为项目首席科学家介绍了项目总体情况及项目实施方案,表达了项目团队将群策群力,共同努力完成第三代半导体核心关键装备研发任务的信心。第三代半导体产业技术与创新战略联盟理事长吴玲研究员等项目咨询专家对项目的实施也提出了很多宝贵意见。专家们提议核心关键装备技术的研究要与用户实际需求相结合,为将来国产装备的落地找好“出口”。

最后,高技术中心专项主管杨斌肯定了项目的实施方案,他建议项目组要按照专项项目“定期调度、节点控制和协同推进”的一体化实施原则,切实保障任务的顺利完成。杨斌主管随后还围绕专项管理情况,介绍了专项总体情况、项目部署情况、重点专项管理方案、项目实施过程管理以及监督及信用管理等多方面的内容,并且强调项目承担单位应履行好项目牵头单位法人职责:加强项目经费预算管理、落实项目保障条件、加强课题间组织协调、做好信息公开和宣传、营造良好学术环境。

项目简介:

国家重点研发计划“战略性先进电子材料”重点专项“第三代半导体核心关键设备”由南京大学作为牵头单位,联合北京中科优唯科技有限公司、北京大学、佛山市国星光电股份有限公司、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、西安电子科技大学、山东大学、青岛铝镓光电半导体有限公司、佛山市多谱光电科技有限公司、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、东莞市中镓半导体科技有限公司等12家单位共同承担。项目负责人为南京大学修向前教授。

以III族氮化物为代表的宽禁带半导体是近年来国内外重点研究和发展的新型第三代半导体材料,具有禁带宽度大、导热性能好、电子饱和漂移速度高以及化学稳定性优等特点。

本项目为满足半导体固态照明、紫外照明和探测、高功率高压电力电子器件等领域所用高端光电子材料对设备的需求,提出发展第三代半导体材料核心装备制造技术,通过建立氮化镓和氮化铝材料工艺与设备的内在关联模型,研究适应材料工艺并有效调控的大尺寸设备制造技术,研制出具有自主知识产权的6英寸氮化镓氢化物气相外延设备、2英寸氮化铝物理气相传输设备和高温氢化物气相外延设备、多片高铝氮化物高温金属有机物化学气相沉积设备,并完成材料生长验证,建立一条半导体照明器件封装智能化生产技术应用示范线,为有力推动第三代半导体材料和器件的实用化进程提供装备支撑。

(固态照明与节能电子学协同创新中心 科学技术处)